Автоматизированный участок химической обработки полупроводниковых пластин

Введение

1.Разработка технического задания

1.1. Техническое задание

1.2. Анализ тематической проблемы

1.3. Анализ информационных материалов

1.4. Общие выводы по разделу

2. Конструкторские разработки

2.1. Устройство автоматической загрузки

2.2. Роботизированный манипулятор

2.3. Общие выводы по разделу

3. Системы управления

3.1. Общие описания установки

3.2. Блоки управления

3.3. Схема управления процессом напыления

3.4. Общие выводы по разделу

4. Технологический раздел

4.1. Технология производства

4.2. Модернизация производства

4.3. Рентабельность модернизированного процесса производства

4.4. Общие выводы по разделу

5. Технические расчеты

5.1. Механические расчет манипулятора

5.2. Кинематический программный расчет манипулятора

5.3. Общие выводы по разделу

Заключение

Список литературы